Photo : KBS News
東京応化工業は1日、KBSの書面での質問に対して、「韓国法人『TOK尖端材料株式会社』で、EUV (極端紫外線）用のフォトレジストを製造している」と回答しました。 東京応化工業は、これまで、日本でEUV用フォトレジストを生産してきましたが、日本の輸出管理強化を受け、韓国に、生産拠点を設けたのことです。東京応化工業は、韓国現地でフォトレジストを生産することについて「最先端技術を持つ、韓国の半導体メーカと速やかに技術的協議できるほか、製品をタイムリーに提供することができる」とメリットを説明しました。
EUV は、非常に短い波長の光を用いて半導体を製造する生産施設で、EUVに用いられるフォトレジストは、次世代の半導体工程において欠かせない材料とされており、日本への依存度が高い品目の１つです。
業界関係者によりますと、東京応化工業が韓国で生産したEUV用フォトレジストを、サムスン電子の半導体工程に適用するテストが進められているということです。
最近、韓国での現地生産に乗り出す日本の半導体部材メーカーが増えています。
日本の関東電化工業は、忠清南道（チュンチョンナムド）の天安（チョナン）市の工場で、半導体製造に用いられる特殊なガスである硫化カルボニルの製造を開始しており、太陽ホールディングスは5月、忠清南道（チュンチョンナムド）の唐津（タンジン）に工場を新設し、韓国で半導体パッケージ基板向けのドライフィルム型ソルダーレジストを生産すると発表しています。
産業通商資源部の関係者は、「日本による輸出管理強化以来、日本企業が韓国に投資しようとする動きが多くみられている。素材供給の安定化につながると期待される」と分析しました。
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July 02, 2020 at 07:52AM
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