住友化学は半導体の製造工程で使う高純度アルミナで、超微粒の新品種を開発した。製造装置内でウエハーを搬送する部品の材料として、強度や耐薬品性に優れるのが特長。ウエハー表面に超微細回路を素早く形成する必要がある次世代通信規格「5G」機器の普及をにらみ、10億円超を投じて愛媛工場（愛媛県新居浜市）に量産設備を導入する。搬送部材メーカー向けに2021年初頭の商用化を目指す。
開発したアルミナ製品は酸化ア…
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January 21, 2020
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住友化学、5Gにらみアルミナの新素材 - 日本経済新聞
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